クリーンルームとは　最も厳しいクラス1は0.1µmの粒が1立方メートルに10個まで

クリーンルームは、空気中に浮かぶちりの数を決められた上限より少なく保つ部屋です。温度、湿度、気圧、気流の向きも管理します。半導体の回路は、ちり1つで線が切れたりつながったりするほど細かいため、工場の主な工程はクリーンルームの中で進めます。

粒の大きさごとに数を数える

清浄度の決め方の国際規格がISO 14644-1です。空気1立方メートルの中に、ある大きさ以上の粒が何個まであってよいかで、クラス1からクラス9までに分けます。分類に使うのは、0.1µmから5µmまでの粒です。

ISO 14644-1の清浄度クラスの上限（1立方メートルあたりの個数）

クラス	0.1µm以上	0.5µm以上	5.0µm以上
クラス1	10	―	―
クラス3	1,000	35	―
クラス5	100,000	3,520	29
クラス7	―	352,000	2,930
クラス9	―	35,200,000	293,000

表は、計測器のベックマン・コールターの解説に載る規格の表から抜き出しました。―は規格の表で値を決めていない欄です。旧米国規格の「クラス1000」のような呼び方も今なお使われます。フッ素系のガスをつくる関東電化工業は、ガスの充填の設備をクラス1000のクリーンな環境にしていると説明しています。

天井から下へ空気を流す

ちりを減らすには、高性能のフィルターを通した空気を部屋に送り続け、ちりを外へ押し出します。人の体や服、装置の動きからもちりが出るため、作業する人は全身を覆う専用の服を着ます。空調は、温度と湿度を細かく保ちながら、大量の空気を回し続けます。

空調工事の高砂熱学工業は、蓄電池や半導体の需要の増加で生産設備の大型化と高精度化が進み、クリーンルームなど特殊な空調のニーズが高まっていると説明しています。同社の2026年3月期の連結売上高は4,239億2,300万円でした。

部屋を動かし続ける仕事

クリーンルームを動かすには、空調のほか、電気、ガス、薬液、純水の設備を止めずに回す必要があります。ジャパンマテリアルは、これらの運転管理をまとめて請け負う方式をTFMと呼び、専門業者に個別に頼む場合より30%のコストダウンになると説明しています。同社の2026年4〜9月期の売上高は309億円で、前年同期比20.4%増でした。

関連する用語

• 超純水：クリーンルームの中でウエハーの洗浄に使う、不純物を極限まで減らした水。
• 特殊ガス：成膜やエッチングに使う高純度のガス。
• FFU：天井に並べる、送風機とフィルターが一体になった装置。