特殊ガスとは　ジャパンマテリアルの販売管理は上期30%増の96億円

特殊ガスは、半導体をつくる装置の中で使う高純度のガスの総称です。窒素や酸素のように大量に使う一般のガスと分けて、こう呼びます。ごく少しの不純物が回路の欠陥につながるため、純度と供給の安定が問われます。

削る、付ける、掃除する

使い道は大きく3つです。1つ目はエッチングで、ガスをプラズマにして膜を削り、回路の溝や穴を作ります。2つ目は成膜で、ガスを反応させてウエハーの上に薄い膜を付けます。3つ目は装置の掃除で、成膜の装置の内側にたまった膜をガスで取り除きます。

関東電化工業の主な半導体用ガス（同社の説明から）

ガス	用途
ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン（C4F6）	エッチング（膜を削って溝を作る）
三フッ化窒素（NF3）	プラズマCVD装置の内側の掃除

関東電化工業は、1970年に国内で初めてフッ酸の電解の技術を確立したと説明しています。製品ごとに独立したプラントを持ち、ガスを容器に詰める設備はクラス1000のクリーンな環境に置きます。同社は、先端の半導体では幅が最小で数nmの回路が数十層重なると紹介しています。

工場の中でガスを届け、管理する

ガスは、つくるだけでは使えません。工場の中に供給の装置と配管を作り、稼働中は容器の交換や品質の管理を続けます。ジャパンマテリアルはこの仕事を請け負う会社です。

同社の2026年4〜9月期は、工場の稼働に合わせて続く特殊ガスの販売管理業務が96億円で、前年同期比30.1%増えました。配管の設計・施工は82億円で20.9%増でした。一方、新しい工場向けの特殊ガス供給装置の製造は7億円で39.9%減っています。特殊ガス販売管理業務の通期の計画は189億円です。

材料の会社の数字

総合化学のレゾナックは、CMPスラリーや高純度ガスなどを前工程材料にまとめています。2026年1〜9月の前工程材料の売上収益は705億円で、前年同期比14%増でした。封止材などの後工程材料の2,743億円（56%増）と比べると伸びは小さめです。

関連する用語

• ネオンガス：露光の光源のレーザーに使う希ガス。
• 高純度化学薬品：ウエハーの洗浄やエッチングに使う液体の薬品。
• プラズマCVD：ガスをプラズマにして膜を付ける成膜の方式。