欠陥検査とは　隣のチップと見比べて「違う所」を探す

ウエハーの上には、同じ設計のチップが碁盤の目のように並んでいます。欠陥検査は、この「同じものが並んでいる」性質を利用します。あるチップの画像と隣のチップの画像を重ねて引き算すると、本来同じはずの回路で違う所が浮かび上がります。そこが欠陥の候補です。

見つけてから原因を突き止めるまで

1. 検査：ウエハー全体を撮影し、欠陥の候補の位置を記録します。1枚で数多くの候補が出ます。
2. レビュー：候補の場所を電子顕微鏡で拡大して撮り直し、本当の欠陥かどうかを確かめます。
3. 分類：異物、傷、パターンの崩れなどに分けます。画像から自動で分ける機能を持つ装置もあります。
4. 原因の特定：欠陥の種類と、どの工程の後で増えたかを照らし合わせ、問題の装置を見つけます。

工場は、ある工程の後に欠陥の数が急に増えたら、その工程の装置を止めて直します。最後の電気の検査まで待たずに手を打てる点が、欠陥検査の役目です。

光か、電子の線か

欠陥検査の主な方式

方式	仕組み	得意なこと
明視野（光）	ウエハーに光を当て、まっすぐ返ってくる光で撮る	回路の形の崩れを細かく見る
暗視野（光）	斜めから光を当て、異物で散った光を拾う	速く広く異物を拾う
電子線	電子の線で撮る	光では見えない細かな欠陥や、電気がつながっていない所を見る

光の方式はウエハー1枚を短い時間で調べられますが、回路が細くなると見分けにくくなります。電子線の方式は細かく見られる反面、時間がかかります。日立ハイテクは2021年に、電子線の広視野検査装置「GS1000」を開発したと発表しました。従来のCD-SEMの100倍の範囲を走査でき、処理量は毎時2万4000点以上（同社の標準条件）としています。

装置の会社

米KLAは欠陥検査と計測の装置をつくる会社です。2026年7〜9月期の売上41億3600万ドルのうち、検査・計測のプロセス管理が37億5400万ドルでした。売上を種類で分けると、装置などの製品が32億8500万ドル、保守などのサービスが8億5100万ドルです。

米オント・イノベーションは、先端パッケージ向けの検査装置「Dragonfly G5」などの売上が過去最高でした。同社の7〜9月期の売上は4億970万ドルで、前年同期比87.8%増えました。アプライドマテリアルズも電子線の検査やレビューの装置を手がけます。

KLAの2026年7〜9月期の売上の内訳（百万ドル）

区分	売上
製品	3,285
サービス	851
合計	4,136

関連する用語

• ダイ・トゥ・ダイ比較：隣り合うチップ（ダイ）の画像どうしを比べる方法です。
• キラー欠陥：チップを不良にする欠陥です。すべての欠陥が不良につながるわけではありません。
• レビューSEM：欠陥の候補を拡大して確かめる電子顕微鏡です。

KLAは2026年10〜12月期の売上を47億ドル（上下2億ドル）、オント・イノベーションは4億3000万〜4億5000万ドルと見込みます。