ペリクルとは　フォトマスクに張るほこりよけの膜、三井化学は旭化成の事業も取得

ペリクルは、フォトマスクの回路の面から少し離して、枠で張る薄い膜です。露光の光はこの膜を通り抜けてマスクに届きます。三井化学は、ペリクルをフォトマスクのほこりよけと説明し、露光の光の波長ごとに、その光に耐える膜の材料を選び、光がよく通るように厚さを決めているとしています。

ほこりを「ぼかす」仕組み

マスクの表面に小さなほこりが1つ付くと、その影がウエハーのすべてのチップに写ってしまいます。マスクは同じ模様を何度も写す原版だからです。ペリクルを張ると、ほこりは膜の上に落ちます。膜はマスクの面から離れているため、ほこりは焦点が合わず、ウエハーにはほとんど写りません。

膜は、露光の光を長い時間浴びても傷まず、光をなるべく多く通す必要があります。光の波長が短く、強くなるほど、膜に求められる条件は厳しくなります。

三井化学のペリクル事業のあゆみ（同社の発表から）

年	出来事
1984年	ペリクルの販売を開始
2019年	ASMLとEUVペリクル事業のライセンス契約を結ぶ
2021年	岩国大竹工場でEUVペリクルの商業生産を開始
2022年5月	旭化成のペリクル事業の取得で合意（事業価値74億円）
2023年7月	旭化成の事業を承継する予定日（吸収分割の効力発生）
2024年5月	EUV用のCNTペリクルの生産設備の設置を発表

旭化成の事業を合わせた理由

2022年の発表によると、旭化成は1986年にペリクルを事業にし、液晶などのディスプレイ用のペリクルでは首位の会社でした。半導体用でも、先端のArF液浸向けでシェアを伸ばしていたと説明しています。三井化学は、半導体用の先端品と、旭化成の多くの品ぞろえを合わせ、総合的なペリクルの会社として首位を固めるとしていました。旭化成の製造を受け持っていた延岡の事業所（従業員約170人）も子会社にし、岩国大竹工場と並ぶ製造拠点にする計画でした。

事業の数字

ペリクルは、三井化学のICTソリューション部門に入ります。この部門の2026年4〜9月の売上収益は1,592億円で、前年同期から222億円増えました。コア営業利益は70億円増の248億円でした。会社は、半導体・光学材料の販売が堅調だったと説明しています。部門には、半導体・電子部品の工程で使う部材や光学材料、不織布なども含みます。

関連する用語

• EUVペリクル：EUV露光用のペリクル。光を通しにくいEUVに合わせ、ごく薄い膜を使います。
• フォトマスク：回路の模様を描いた原版。
• レチクル：露光装置に載せるフォトマスクの呼び名。