半導体工場の真空ポンプと除害装置　アトラスコプコの真空部門、7〜9月の受注87%増

半導体の工場では、ウエハーに膜を付けたり削ったりする工程の多くを、空気を抜いた部屋（チャンバー）の中で行います。この部屋を真空にするのがポンプです。スウェーデンの産業機械大手アトラスコプコは10月22日、真空部門（Vacuum Technique）の2026年7〜9月の受注高が166億5900万クローナとなり、前年同期の89億1600万クローナから87%増えたと発表しました。

ポンプと除害装置は「対」で動く

半導体の装置で使う真空ポンプは、油を使わない「ドライポンプ」が主流です。油を使うと、その蒸気がウエハーを汚すためです。成膜やエッチングでは、フッ素や塩素を含むガス、燃えやすいガスを部屋に流します。使い終わったガスはポンプで吸い出され、除害装置で燃やしたり水で洗ったりして無害にしてから外に出します。

このため、装置メーカーや半導体メーカーはポンプと除害装置を組みにして買うことが多くあります。アトラスコプコの真空部門は、真空ポンプと排ガス処理のシステム、極低温の装置、保守、バルブを手がけ、主な市場を半導体と科学機器としています。英国のエドワーズは同部門の主要なブランドです。日本では荏原製作所が、CMPの装置と並んでドライポンプと除害装置を作っています。

受注は過去最高、アジアが伸びる

アトラスコプコ真空部門の数字（百万クローナ）

項目	2025年7〜9月	2026年7〜9月	増減
受注高	8,916	16,659	+87%
売上高	9,193	12,257	+33%
営業利益	1,697	2,726	+61%
営業利益率	18.5%	22.2%	3.7ポイント上昇（計算）

出典：Atlas Copco「Third-quarter report 2026」（2026年10月22日）。

会社の説明では、半導体と液晶パネルの業界からの真空装置の需要は非常に強く、受注は再び過去最高になりました。前年と比べた増加は、すべての主要地域で複数の大口の顧客が注文を増やしたためです。前の四半期と比べても、アジアの受注が伸びました。保守の受注も、半導体と一般の産業の両方で増えました。

受注高は売上高を43億クローナほど（計算）上回っています。注文が出荷より速く積み上がっている形です。1〜9月の累計では受注高が421億2100万クローナで、前年同期より54%増えました。

売上は3四半期続けて増加

真空部門の四半期の売上高は、2025年は90億〜95億クローナ台で推移していました。2026年は1〜3月が90億6600万クローナ、4〜6月が105億3100万クローナ、7〜9月が122億5700万クローナと増えています。7〜9月の営業利益率は22.2%で、前年同期の18.5%から上がりました。会社は、量が増えた効果が大きく、生産を増やすための費用と為替の悪化が一部を打ち消したと説明しています。

売上高のうち装置が76%、保守が24%です。2025年は保守の比率が30%前後でしたが、装置の出荷が増えたため比率が下がりました。ポンプは使うほど部品がすり減るため、出荷した台数が増えると、のちの保守の仕事も増える仕組みです。

グループ全体の7〜9月の受注高は523億3800万クローナで、29%増えました。会社は、全体の受注の伸びを主に半導体向けの真空装置の需要によるものとしています。次の四半期の顧客の動きは、今の水準が続くと見ています。

今後の注目点

• アトラスコプコは2026年10〜12月期の報告を2027年1月28日に公表する予定です。
• 2027年1〜3月期の報告は2027年4月22日の予定です。