製造装置の中の石英・セラミックス部品、フェローテックの2026年上期はセラミックスが34%増収　米国の顧客向けが急伸

半導体の製造装置の中は、部品にとって過酷な場所です。エッチングの部屋では、フッ素や塩素のプラズマがウエハーだけでなく周りの部品も削ります。こうした部品を作るフェローテックは、半導体等装置関連事業の2026年上期（実質）の売上高が1181億円になり、前年同期より33.7%増えたと開示しました。

石英は「窓と器」、セラミックスは「台と壁」

石英ガラスは、熱に強く、不純物が少なく、光を通します。熱処理の炉でウエハーを並べる台（ボート）や炉の管、エッチングの部屋の窓やリングに使われます。セラミックスは、アルミナや窒化アルミ、炭化ケイ素などの焼き物で、プラズマに強く、電気を通さないものと通すものを作り分けられます。ウエハーを載せて吸い付ける台（静電チャック）や部屋の内壁、ガスを吹き出すシャワーヘッドなどに使います。

これらの部品は、装置が新しく売れたときに組み込まれるほか、工場で装置が動くほど削れて交換されます。装置の新規の出荷と、工場の稼働率の両方で需要が決まる構造です。日本では、フェローテックのほか京セラや日本特殊陶業がセラミックスの部品を手がけ、石英では東ソーや信越石英などが材料をつくっています。

製品別の売上

フェローテックの半導体等装置関連事業の製品別売上高（百万円）

製品	2026年上期（実質）	前年上期比	2026年通期の予想
真空シール・金属加工	34,597	+53.4%	74,472
セラミックス	25,629	+34.2%	52,906
石英製品	19,211	+16.9%	39,198
装置部品洗浄	12,966	+56.3%	27,096
シリコンパーツ	9,220	+37.3%	19,110
CVD-SiC	1,834	−60.5%	4,947
事業の合計	118,153	+33.7%	242,201

出典：フェローテック「2026年12月期 第1四半期 決算補足説明資料」（2026年）。決算期の変更のため、第1四半期は子会社の1〜6月を含み、会社は「実質上期」と表示。通期の予想は会社の計画。

伸びが大きいのは、真空シール・金属加工、装置部品洗浄、シリコンパーツです。セラミックスは額が大きく、伸びも34.2%あります。会社は、米国の顧客向けの需要が急に伸び、半導体の材料、特にセラミックスが業績を引っ張っているとしています。中国の顧客向けの需要も増え続けているとしています。一方、CVD法で作る炭化ケイ素の部品は60.5%減りました。

決算期を変え、計画を引き上げ

フェローテックは決算期を3月から12月に変えました。2026年12月期は、親会社が4〜12月の9か月、連結子会社が1〜12月の12か月を計上します。売上高の多くを稼ぐ子会社が12か月分入るため、会社は9か月決算の影響は限られるとしています。

2026年12月期の計画は、5月の売上高3500億円・営業利益380億円から、7月に3800億円・600億円へ上げました。2027年12月期は、顧客の需要を確かめている段階としながら、売上高5000億円、営業利益800億円程度の水準をめざして計画を積み上げ直しています。

今後の注目点

• フェローテックの次の決算（親会社の4〜9月、子会社の1〜9月）で、装置関連の伸びが続くかがわかります。
• 電子デバイス事業では、AIサーバーの光トランシーバー向けのサーモモジュールが上期に78.3%増えました。