プローブカードとは　チップの設計ごとに作る「針の束」　HBMで需要が急増

ウエハーテストでは、チップの小さな電極に針を当てて電気を流します。チップには電極がたくさんあり、それぞれに針を正確に当てる必要があります。この針を、テスターにつながる基板にまとめて取り付けた部品がプローブカードです。

どんな形をしているか

プローブカードは、大きく3つの部分でできています。

• 針（プローブ）：チップの電極に直接触れる部分です。細い金属の線や、微細加工で作った小さなばね状の部品を使います。
• 針を支える部品：数多くの針を、電極の配置どおりの位置と高さにそろえて固定します。
• 配線基板：針とテスターの間の電気信号を通す、多層の基板です。

針の形には、斜めに伸びた針の先を電極に当てるカンチレバー型、針を垂直に立てて押し当てる垂直型、半導体の製造技術で針を作るMEMS型などがあります。電極の間隔が狭く数が多い先端品ほど、垂直型やMEMS型が使われます。メモリでは、1回の接触でウエハーの上の多くのチップを同時に調べるため、針の数がさらに増えます。

なぜ繰り返し売れるのか

プローブカードは、テスターやプローバのような汎用の装置と違い、チップの設計ごとに作ります。メモリの世代が変わるたび、新しい製品が出るたびに、新しいカードが要ります。針は接触を繰り返すうちに摩耗するため、同じ製品でも交換が必要です。顧客の生産量と新製品の数の両方が需要につながります。

主な会社と数字

プローブカードの主な会社の直近の数字

会社	項目	数字
日本マイクロニクス	プローブカード売上（2026年7〜9月）	323億0400万円
日本マイクロニクス	うちメモリ向け	303億7100万円
日本マイクロニクス	プローブカード事業の売上（2026年1〜9月、前年同期比）	+64.6%
フォームファクター（米）	売上（2026年7〜9月）	2億8050万ドル
フォームファクター（米）	売上総利益率（独自基準）	56.5%

日本マイクロニクスは、HBMを中心にDRAM向けの受注が強く、7〜9月期のメモリ向けの売上が過去最高だったとしています。全社の四半期の営業利益率は、前年同期の21.6%から34.9%に上がりました。売上の95.1%はアジア向けです。

米フォームファクターは、7〜9月期の売上が前の期から8.6%、前年同期から38.4%増えました。ファウンドリー・ロジック向けは前の期から10%増えています。マイク・スレッサーCEOは、売上、売上総利益率、1株利益がいずれも見通しの上限を上回ったと述べました。

関連する用語

• プローバ：ウエハーを運び、電極とプローブカードの針の位置を合わせる装置です。東京エレクトロンや東京精密がつくります。
• テスター：プローブカードを通して信号を送り、良否を判定する装置です。
• テストソケット：パッケージに組み立てた後の検査で、部品とテスターをつなぐ部品です。

日本マイクロニクスの2026年12月期の通期予想は売上高1100億円、営業利益361億円です。フォームファクターは2026年10〜12月期の売上を2億8500万ドル（上下1000万ドル）と見込みます。