EUV・ArFレジストの増産競争、東京応化は郡山の新棟を11月に稼働　投資額は約230億円

半導体の回路を写すときに使う感光材、フォトレジストの増産が続いています。東京応化工業は10月8日、郡山工場に建てていた新しい製造棟が完成したと発表しました。2024年7月に着工し、投資額は約230億円です。2026年11月に稼働を始めます。

先端のレジストは工場の数が限られる

レジストは、樹脂や光で反応する薬剤を溶剤に溶かした液体です。ウエハーに薄く塗り、光を当てた部分だけを溶かす（または残す）ことで、回路の模様を写します。EUV用のレジストは、少ない光で正確に反応し、線の端がぎざぎざにならない性能が要ります。量産に使う品は顧客の工場で長い評価を経て採用されるため、一度採用されたメーカーから他社に替えることはまれです。

日本ではJSR、東京応化、信越化学工業、富士フイルム、住友化学がレジストを手がけます。JSRは子会社の米インプリアを通じ、スズの酸化物を使うEUV用の「メタルオキサイドレジスト」も開発しています。東京応化によると、郡山工場はEUV用やArF用などの先端材料をつくっており、新しい棟はスマート工場として自動化とデジタル化を進めます。生産能力の数字は公表していません。

東京応化の売上は7四半期続けて増加

東京応化工業の四半期の売上高（百万円）

期間	エレクトロニクス機能材料	高純度化学薬品	営業利益
2025年1〜3月	27,751	25,595	9,801
2025年4〜6月	30,398	26,389	10,044
2025年7〜9月	32,752	27,884	12,047
2025年10〜12月	33,798	29,530	15,492
2026年1〜3月	35,795	29,986	15,074
2026年4〜6月	38,359	33,022	13,779
2026年7〜9月	41,601	35,500	17,191

出典：東京応化工業「決算説明資料 2026年12月期第3四半期決算」（2026年11月10日）。

レジストを含むエレクトロニクス機能材料の売上高は、2025年1〜3月から7四半期続けて増えました。会社は、データセンター向けのAIサーバーの需要の拡大で、エレクトロニクス機能材料と高純度化学薬品の両方が大きく伸びたと説明しています。11月10日には通期の予想を上げ、エレクトロニクス機能材料の売上高を1600億円としました。全社の売上高3000億円と営業利益635億円は、「tok中期計画2027」で最終年度の目標とした数字を1年前倒しで上回る見込みです。

JSRは三井化学の傘下へ

レジストの大手の資本の構図も変わります。JSRは11月9日、官民ファンドの産業革新投資機構（JIC）系のファンドが持つJSRの全株式を三井化学に移す契約が結ばれたと発表しました。三井化学は日本政策投資銀行（DBJ）とともに株式を取得し、議決権の100%を持つ予定です。手続きの完了には、国内外の競争法や外資規制の承認が要ります。JSRは、先端の半導体向けのレジストを含む電子材料などの成長戦略を続けるとしています。

今後の注目点

• 東京応化の郡山の新棟は11月に稼働します。費用は8月6日に公表した業績予想に織り込み済みです。
• 東京応化の2026年12月期の通期予想は、売上高3000億円、営業利益635億円です。1〜9月の進捗はともに72.5%です。
• 三井化学とDBJによるJSR株の取得は、各国の承認が得られた後に完了します。