EUV露光装置の台数と1台の値段、ASMLの2026年上期はLow-NAが29台・平均2.3億ユーロ　High-NAは平均4億ユーロ

回路をウエハーに写す露光装置は、世代が新しいほど値段が大きく上がります。オランダのASMLが7月に公表した2026年上期の報告書から、技術ごとの1台あたりの平均の売上を計算しました。最も高いHigh-NAのEUV（EXE）は3台で11億8890万ユーロで、1台あたり約3億9600万ユーロです（計算）。

技術別の台数と平均の値段

ASMLの露光装置の技術別の販売（2026年1〜6月）

技術	台数	売上（百万ユーロ）	1台あたり（計算、百万ユーロ）
EUV High-NA（EXE）	3	1,188.9	396
EUV Low-NA（NXE）	29	6,708.5	231
ArF液浸	40	3,331.7	83
ArFドライ	13	367.3	28
KrF	65	772.6	12
i線	20	113.1	6

出典：ASML「Statutory Interim Report 2026」（2026年7月、米証券取引委員会への提出資料）。1台あたりは売上を台数で割った単純平均で、装置の構成や改造の有無、為替の違いを含む。

露光の光の波長は、i線が365ナノメートル、KrFが248ナノメートル、ArFが193ナノメートル、EUVが13.5ナノメートルです。波長が短いほど細かい模様を写せますが、光源や光学系が複雑になり、値段が上がります。High-NAは、EUVの光を集めるレンズ系（実際は鏡）の開口数を0.33から0.55に上げ、さらに細かい模様を1回で写せるようにした機種です。

1年前との比較

2025年1〜6月は、Low-NAのEUVが24台で55億9320万ユーロ、1台あたり約2億3300万ユーロでした（計算）。High-NAは1台で2億7380万ユーロでした。2026年上期はLow-NAの台数が5台増え、High-NAは3台になりました。一方で、ArF液浸は56台から40台に減り、KrFは38台から65台に増えています。KrFやi線は、パワー半導体やアナログ半導体など古い世代の製造の方法で使われる装置です。

台数で見ると、上期に売れた露光装置170台のうちEUVは32台で19%（計算）です。売上では、露光装置の合計124億8210万ユーロ（計測・検査の装置を除く、計算）のうち、EUVの2機種が78億9740万ユーロで63%（計算）を占めます。ASMLの売上が、少ない台数の高い装置に寄っていることがわかります。

7〜9月は121台

ASMLの7〜9月の露光装置の販売は121台で、4〜6月の91台から増えました。このうち新品が113台、中古が8台です。7〜9月の技術別の内訳の数字は、決算発表の本文では示されていません。会社は、2027年と2028年の供給の計画では顧客の需要を満たしきれないと説明しています。TSMCとは、High-NAのEUV向けの12インチの大きなマスクの共同の取り組みを示しています。

今後の注目点

• ASMLは2026年の売上高を440億〜450億ユーロと見込み、10〜12月は142億〜152億ユーロの見通しです。
• 2026年通期の技術別の台数と売上は、年次の報告書で公表されます。