洗浄装置の市場　SCREENは枚葉式洗浄が装置売上の約75%、半導体装置の売上を6200億円と予想

半導体の前工程では、膜をつける、削る、磨くといった工程の前後に、ほぼ毎回ウエハーを洗います。目に見えない粒や金属の汚れが1つ残るだけで、回路が切れたりつながったりするためです。洗浄の回数は全工程の中でも多く、回路が細かくなるほど、落とさなければならない粒も小さくなります。

枚葉式とバッチ式

洗浄装置の方式

方式	洗い方	向いている場面
枚葉式	1枚ずつ回しながら薬液や純水をかける	先端の細かい模様、工程ごとに条件を変えたい洗浄
バッチ式	数十枚をまとめて薬液の槽に浸す	多くの枚数を安く洗う、膜をまとめて除く

先端の工程では、模様を倒さずに乾かす技術や、使う薬液の量を減らす技術も問われます。SCREENは決算説明会で、先端のロジックとメモリの製造で洗浄の重みが増しており、WFE（前工程の製造装置）市場の伸びを上回る成長の機会があると説明しました。

SCREEN：装置売上の9割が洗浄

SCREENホールディングスは、半導体製造装置（SPE）の部門で洗浄装置を主力にしています。部門の売上に占める製品の比率は、次のとおりです（5%きざみの概数）。

SCREENの半導体装置の製品別売上比率

決算期	枚葉式洗浄	バッチ式洗浄	塗布現像装置・FLA・その他
2024年3月期	約70%	約20%	約10%
2025年3月期	約80%	約15%	約5%
2026年3月期	約75%	約20%	約5%
2027年3月期上期	約75%	約15%	約10%

部門の売上は、2026年4〜9月に2513億円と前年同期比15.0%増えました。7〜9月期は1582億円で、メモリ向け、北米と韓国向けが増えました。通期は6200億円を見込み、下期に3687億円が集まる計画です。四半期で見ると、2025年4〜6月期が1095億円、7〜9月期が1090億円、10〜12月期が1200億円、2026年1〜3月期が1473億円、4〜6月期が931億円で、7〜9月期は1582億円でした。

東京エレクトロン：枚葉とバッチの両方

東京エレクトロンは、枚葉式とバッチ式の両方の洗浄装置をつくります。2026年の統合報告書で、洗浄の市場シェアを3位としています（同社推定）。新規装置の売上に占める洗浄装置の比率は、2025年3月期に13%、2026年3月期に9%でした。2026年3月期の新規装置の売上1兆7754億円から計算すると、洗浄装置は約1600億円です（計算）。

同社は、熊本地方の震災の影響に対応し、塗布現像装置と洗浄装置の事業部門の2026年4〜9月の売上が前の半期から5割超増えたと説明しています。

今後の注目点

• SCREENは2026年10月30日、京都府長岡京市の新拠点の開設を発表しました。投資は約250億円、延床面積は約2万5500平方メートルで、2028年1月に操業します。第1段階で半導体装置の生産能力を約1.3倍にします。
• SCREENの2027年3月期の設備投資は、7月時点の430億円から580億円に増やしました。