前工程装置の市場とは　ウエハーに回路をつくる装置を米日欧の数社が分け合う

半導体の製造は、ウエハーの上に回路をつくる「前工程」と、チップを切り分けて包む「後工程」に分かれます。前工程装置は、このうち前の半分を担う装置の総称です。半導体メーカーの設備投資のうち、建物を除く大部分がこれらの装置に向かいます。

工程ごとに強い会社が違う

前工程装置の主な種類と主な会社

工程	何をするか	主な会社
露光	回路の模様を光で焼き付ける	ASML、ニコン、キヤノン
塗布・現像	光に反応する薬液を塗り、焼き付け後に現像する	東京エレクトロン
エッチング	膜を回路の形に削る	ラムリサーチ、東京エレクトロン、アプライド
成膜	絶縁膜や金属の膜を重ねる	アプライド、東京エレクトロン、KOKUSAI ELECTRIC
洗浄	工程の合間に異物を取り除く	SCREEN、東京エレクトロン
CMP	表面を平らに磨く	アプライド、荏原製作所
検査・計測	欠陥を探し、寸法を測る	KLA、レーザーテック、日立ハイテク

1社がすべてをそろえるのではなく、工程ごとに得意な会社が分かれるのがこの市場の形です。露光装置のうち最先端のEUVは、オランダのASMLだけがつくっています。

大手3社の直近の数字

米アプライドマテリアルズの2026年8〜10月期の売上は104億900万ドルで、半導体装置の部門が79億9600万ドルでした。半導体装置の売上の内訳は、ファウンドリー・ロジック向けが58%、DRAM向けが33%、フラッシュメモリー向けが9%です。地域別では台湾が28%、中国が25%、韓国が17%でした。

米ラムリサーチの7〜9月期の売上は82億1900万ドルで、うち装置本体が57億3300万ドル、保守や部品などが24億8700万ドルでした。地域別の比率は中国35%、韓国20%、台湾18%です。東京エレクトロンの7〜9月期の売上高は9350億円で、新しい装置の売上は7344億円でした。地域別では中国向けが3399億円と最も多く、全体の36%に当たります（計算）。

前工程装置の大手3社の直近の四半期

会社	期間	売上	中国の比率
アプライドマテリアルズ	2026年8〜10月	104億900万ドル	25%
ラムリサーチ	2026年7〜9月	82億1900万ドル	35%
東京エレクトロン	2026年7〜9月	9350億円	36%（計算）

市場の大きさの見方

東京エレクトロンは10月30日の説明会で、前工程装置の市場を2026年に1600億ドル程度、2027年に2100億ドル以上と示しました。生成AIに加え、エージェント型のAIが広がり、GPU、CPU、DRAM、NANDのすべてで必要な量が増えるとの見方です。

装置の売上には、新しい装置のほかに、部品の交換や保守の売上があります。顧客の工場が多く動くほど増える売上で、東京エレクトロンの7〜9月期の部品・サービスの売上は1443億円でした。

アプライドマテリアルズは2026年11月〜2027年1月期の売上を111億ドル（上下5億ドル）、ラムリサーチは10〜12月期を86億ドル（上下4億ドル）と見込んでいます。東京エレクトロンの次の決算発表は2027年2月5日の予定です。