日本の露光装置の歴史(ニコン・キヤノン) 1970年の国産初号機から半世紀、キヤノンは2026年に221台を見込む
キヤノンは1970年に国産初の半導体露光装置「PPC-1」を発売し、ニコンは1980年に国産初のステッパー「NSR-1010G」を発表しました。2026年の販売台数の見通しは、キヤノンが221台、ニコンが2027年3月期に新品23台です。
プリンティング、メディカル、イメージング、インダストリアルの4事業を持つ。半導体露光装置はインダストリアル事業に入り、i線・KrFなどの露光装置とナノインプリント装置を手がける。米国会計基準で開示する。
| コード | 7751 |
|---|---|
| 上場 | 東証プライム |
| 本社 | 東京都大田区 |
| 分野 | 前工程装置 |
| 決算期末 | 12月 |
| 配当(会社予想) | 年間 1株160円(2026年12月期予想。中間80円) |
| 発行済株式数 | 13億3,376万株(2026年9月末、自己株式を含む) |
| 主な製品 | 半導体・FPD露光装置、ナノインプリント装置、複合機・プリンター、カメラ、医療機器 |
キヤノンは1970年に国産初の半導体露光装置「PPC-1」を発売し、ニコンは1980年に国産初のステッパー「NSR-1010G」を発表しました。2026年の販売台数の見通しは、キヤノンが221台、ニコンが2027年3月期に新品23台です。
ポスト5G基金は、NEDOが先端半導体や次世代の通信の研究開発に使う基金です。2020〜2029年度の事業期間の総額は3兆5887億円で、ラピダスの2nm世代の研究開発もこの事業の中で進んでいます。
パネルレベルパッケージは、後工程を四角いパネルで進める作り方です。レゾナックが率いる27社のJOINT3は515×510mmのパネルを使い、面積は300mmのウエハーの約3.7倍になります(計算)。
ナノインプリントは、回路の模様を刻んだ型を、はんこのようにレジストに押し付けて回路を作る技術です。キヤノンの装置は最小14ナノメートルの線を作れ、同社は2027年の量産への適用をめざしています。
i線露光は、水銀ランプの波長365ナノメートルの光を使う、古くからある露光の方式です。キヤノンは2026年に、半導体露光装置221台のうち155台をi線の装置で販売する見通しです。
KrF露光は、波長248ナノメートルのKrFエキシマレーザーの光を使う露光です。キヤノンは2026年に、KrFの露光装置を66台販売する見通しです。
フォトリソグラフィは、光に反応する薬剤を塗ったウエハーに、マスクを通した光で回路の模様を写す工程です。ニコンの資料では、半導体露光装置の世界の市場は2026年に580台の見通しです。
キヤノンの2026年7〜9月期の営業利益は971億円で、前年同期から10.3%増えました。メモリーや原材料の値上がりで383億円の押し下げがありましたが、構造改革と円安で吸収したと説明しています。
キヤノンは、プリンターを最大の事業とし、半導体の露光装置も手がける精密機器メーカーです。2026年7〜9月期は半導体露光装置を42台販売し、通期の計画は227台から221台に下げました。